1.無(wú)塵室：這是上海漢宇為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒控制所制造的封閉建筑。一般來(lái)說(shuō)，無(wú)塵室也會(huì)對(duì)溫濕度、氣流運(yùn)動(dòng)形式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做操控。
2.微粒操控：無(wú)塵室微粒操控的第一步，是把室內(nèi)微粒進(jìn)行分析，然后針對(duì)分析結(jié)果擬訂預(yù)先設(shè)計(jì)好的的微粒操控方法與無(wú)塵室管理形式，才干有用率的操控微粒污染。在做微粒影響剖析時(shí)，期間注意數(shù)據(jù)的量化。
3.外來(lái)污染源：從無(wú)塵室外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源，外來(lái)污染源主要是由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入，另外門(mén)、窗、墻壁裂縫等也是外來(lái)污染源的成因。
4.內(nèi)部污染源：無(wú)塵室內(nèi)部發(fā)生污染的來(lái)源，一般是制程機(jī)器與操作職工，嚴(yán)峻的內(nèi)部污染源一般是操作職工。
5.阻隔：阻隔是污染操控的一種觀念，也就是讓污染源阻隔在無(wú)塵區(qū)域之外。這種觀念多應(yīng)用在高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，例如Class100，Class10，Class1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無(wú)塵室，或是運(yùn)用迷你潔凈室將機(jī)臺(tái)整個(gè)包住。
6.稀釋?zhuān)合♂屖俏廴静倏氐牧硪环N觀念，多應(yīng)用在潔凈度不高的無(wú)塵室。例如在Class10000的無(wú)塵室，因?yàn)閾Q氣量不大，制程與人員發(fā)生的粒子就會(huì)在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時(shí)刻才會(huì)排出。因而新的潔凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度操控在某一等級(jí)之下就能夠了，部要求把人員與制程離隔。運(yùn)用稀釋法作為粒操控時(shí)，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響剖析的正確性，能把握微粒的發(fā)生速率，才干有用的稀釋微粒。
7.氣流形式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。因?yàn)槲⒘５囊瞥龔氐装盐赵跉饬鞯男问剑蚨鷿崈舻臒o(wú)塵室或是無(wú)塵區(qū)域，對(duì)氣流形式的掌控就愈注重。基本上要先把握氣流形式，才干把握潔凈度。
8.單一流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無(wú)塵室稱(chēng)為單一流向型無(wú)塵室，曾經(jīng)稱(chēng)為層流型無(wú)塵室，界說(shuō)并無(wú)多大改動(dòng)。高潔凈度無(wú)塵室需求單一流向型氣流。
9.非單一流向型氣流：氣流方向不受操控，就是所謂的亂流型無(wú)塵室，潔凈度較低的無(wú)塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)約本錢(qián)。
10.As-builtcleanroom（剛完工的無(wú)塵室）：現(xiàn)已完結(jié)且能夠操作，一切相關(guān)支撐設(shè)備皆已完結(jié)的潔凈室，但并沒(méi)有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。
11.At-restcleanroom（準(zhǔn)備中的無(wú)塵室）：現(xiàn)已完結(jié)且能夠操作，一切相關(guān)支撐設(shè)備皆已動(dòng)作的無(wú)塵室，設(shè)備已加載并能夠操作或已在工作，如所指定，但沒(méi)有操作設(shè)備的人員。
12.Operationalcleanroom（操作中的無(wú)塵室設(shè)備）：一個(gè)已在正常工作的無(wú)塵室，一切相關(guān)支撐設(shè)備皆已動(dòng)作，設(shè)備及人員皆已加載，工作情況能夠呈現(xiàn)和到達(dá)其正常的功能。
