1.亂流式(TurbulentFlow):
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由無塵車間兩邊隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
長處:結(jié)構(gòu)簡略、體系締形成本低,潔凈室之?dāng)U大比較簡略,在某些特殊用處場所,可并用無塵作業(yè)臺(tái),進(jìn)步無塵車間等級(jí)。
缺陷:亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若體系中止作業(yè)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)適當(dāng)長一段時(shí)間。
2.層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形,空氣由掩蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩邊隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境運(yùn)用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻面之回風(fēng)體系回風(fēng),塵土隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)峻。
長處:結(jié)構(gòu)簡略,作業(yè)后短時(shí)間內(nèi)即可變成安穩(wěn)。
缺陷:締造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)大。
(2)無塵車間筆直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器掩蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或作業(yè)人員所發(fā)生的塵土可快速排出室外而不會(huì)影響其它作業(yè)區(qū)域。
長處:辦理簡略,作業(yè)開端短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)安穩(wěn)狀況,不易為作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。
缺陷:結(jié)構(gòu)費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架適當(dāng)占空間,修理替換過濾器較費(fèi)事。
3.復(fù)合式(MixedType):
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)無塵車間潔凈地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或作業(yè)區(qū)域100%掩蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上,可節(jié)省裝置作業(yè)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之作業(yè)區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器修理予以阻隔,以避免機(jī)器修理時(shí)影響了作業(yè)及品質(zhì),ULSI制程大都選用此種型式。潔凈地道另有二項(xiàng)長處:A.彈性擴(kuò)大簡略;B.修理設(shè)備時(shí)可在修理區(qū)容易執(zhí)行。
(2)無塵車間潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程通過的自動(dòng)出產(chǎn)線圍住并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此阻隔,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為最適合運(yùn)用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)無塵車間并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上,認(rèn)為出產(chǎn)之用;即屬此類。
潔凈作業(yè)臺(tái):等級(jí)Class1~100級(jí)。
潔凈作業(yè)棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之通明塑料布圍成一小空間,選用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高檔之潔凈空間,其等級(jí)為10~1000級(jí),高度在2.5米左右,掩蓋面積約10M2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運(yùn)用。