無塵室工程標準就是凈化設備標準，潔凈室使用的高效空氣過濾器過濾氣體，對于通過過濾器過濾后的空氣都是非常干凈的。潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)作的塵土一旦擴散，即無法堅持凈化空間，所以需要使用氣流將發(fā)揮的塵土排除室外。
潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或凈化室。
無塵室是指將在規(guī)定的范圍內(nèi)對空氣中含有的物質(zhì)進行控制，對于溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度、噪音、照明燈都控制在一定的范圍內(nèi)，亦便是不管外在之空氣條件怎么改變，其室內(nèi)均能俱有堅持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等功能之特性。世界各國都有各自的規(guī)定，但大都采用的是美國的相關(guān)標準�；蛘吆透鲊贫ǖ臉藴蔬M行對比使用。
無塵室控管之項目是可以除掉空氣中飄游的微塵粒子。防止灰塵的揮發(fā)和對溫度和濕度的操控，壓力調(diào)整，有害氣體的清除，隔間的氣密性等在施工時都要考慮到。
1.亂流式(TurbulentFlow)：
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩邊隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
長處：結(jié)構(gòu)簡略、體系締造本錢，潔凈室之擴大比較簡略，在某些特殊用處場所，可并用無塵作業(yè)臺，進步潔凈室等級。
缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。別的若體系中止作業(yè)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時恰當長一段時刻。
2.層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩邊隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境運用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風體系回風，塵土隨風向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴峻。
長處：結(jié)構(gòu)簡略，作業(yè)后短時刻內(nèi)即可變成安穩(wěn)。
缺陷：締造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴大。
(2)筆直層流式：房間天花板徹底以ULPA過濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業(yè)人員所發(fā)作的塵土可快速排出室外而不會影響其它作業(yè)區(qū)域。
長處：辦理簡略，作業(yè)開端短時刻內(nèi)即可達安穩(wěn)狀況，不易為作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。
缺陷：結(jié)構(gòu)費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架恰當占空間，修理更換過濾器較費事。
3.復合式(MixedType)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。
(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或作業(yè)區(qū)域100%掩蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)約裝置作業(yè)費用。
此型式需將作業(yè)人員之作業(yè)區(qū)與產(chǎn)品和機器修理予以阻隔，以防止機器修理時影響了作業(yè)及質(zhì)量，ULSI制程大都選用此種型式。
潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴大簡略；B.修理設備時可在修理區(qū)輕易履行。
(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程通過的自動出產(chǎn)線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互阻隔，少數(shù)之送風即可得到杰出之潔凈度，可節(jié)約能源，不需人工的自動化出產(chǎn)線為較適合運用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝部分潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上，以為出產(chǎn)之用；潔凈作業(yè)臺、潔凈作業(yè)棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈作業(yè)臺：等級Class1~100級。
無塵作業(yè)棚：為在亂流式之凈化室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，選用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高檔之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，掩蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
無塵室工程回風標準具體程度會根據(jù)不同的工程和不同的產(chǎn)品會做出不同的選擇，所以在施工時要多加注意，選擇適合自己的方式，科學的施工，爭取做出好的成績。
