一、潔凈室的慨念及運用

　　規范潔凈室首要是對一個特定環境內的溫度、濕度、塵土、靜電、噪音、化學污染、電磁場和轟動進行操控，以到達規范的參數及出產所要求的規范；

　　跟著現代工業的開展，現在一般運用在微電子工業、醫藥及食物工業、生物工程等領域。

　　二、潔凈室的潔凈度

　　1．1潔凈室等級慨念:

　　10級~10K級(規范潔凈室)

　　1ft3空氣體中所含的直徑為0.3um塵粒數量小于或等于所要求之等級;

　　100K級~100K以下(準潔凈室)

　　1ft3空氣體中所含的直徑為0.5um塵粒數量小于或等于所要求之等級;

　　美國聯邦規范209E(1992年)

　　等級稱號

　　106.00

　　ISO國際規范（ISOStandard）

　　潔凈度等級Cleanclass

　　粒徑ParticlesSize(um)

　　0.1um

　　單位:塵土數量個/m3

　　三、潔凈室體系

　　潔凈室體系的作業與保護辦理

　　摘要：潔凈室潔凈度之堅持和操控，除了硬設備之合作出資外，也需求杰出的軟件——辦理制度來調配，方能堅持杰出的潔凈度；潔凈室作業辦理，可依作業人員、原物料、設備及潔凈室內所用東西等加以操控；

　　潔凈室凈化體系除了通稱的空調凈化體系之外，作業人員、出產設備也包含在內，本節將對該二體系之作業保護及保養做一概略闡明。

　　關鍵詞：潔凈室污染源作業辦理保護保養

　　一、污染源操控

　　潔凈室潔凈度之堅持和操控，除了硬設備之合作出資外，也需求杰出的軟件——辦理制度來調配，方能堅持杰出的潔凈度。潔凈室內之污染來源，經測驗剖析成果，作業人員占約80%，如圖1所示。試驗數據顯現，作業人員進出潔凈室時塵土有顯著添加，有人動作時，潔凈度立刻?化，可見潔凈度劣化之原因人是首要要素。

　　潔凈室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源首要包含空調送風、間隙進入、建筑物、作業服、以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包含出產設備、作業人員、東西、加工制作、隔間資料、作業臺、包裝資料等，圖2為微塵粒子的傳送途徑。

　　對硅芯片而言，微塵粒子之附著將形成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功用，因此微污染源的操控已成為潔凈室辦理的重要環節。表一為自然環境所測得的塵土濃度，而在微污染操控，其基本準則有四：

　　1.外部塵土侵入之防止：

　　潔凈室恰當之正壓堅持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原資料搬入潔凈室前先做好清潔擦洗等防塵動作，空氣過濾器恰當的辦理和設置。

　　2.室內發塵之防止：

　　隔墻板、地板等潔凈室資料的恰當選用、制作設備的發塵按捺、出產自動化及人員不集合、動作放松、潔凈衣的辦理、運用潔凈室專用器等。

　　3.室內發塵之不積留：

　　墻面體應潤滑無死角、潔凈室需定時保養和打掃、制程設備四周應留有空間。

　　4.發作塵土之掃除：

　　換氣次數應滿足，恰當的空間安置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須恰當。人、物入室的辦理問題、實踐的作業條件和工程辦理相關之問題、室內之空調及打掃關系之問題，這些問題將于下節祥述。

　　表1自然界微塵粒子數

　　丈量地址

　　微塵粒子數（個/ft3）≥0.5μm

　　大氣層圈

　　ㄑ100

　　田園區域（和風情況）

　　100，000~500，000

　　住所區域

　　300，000~400，000

　　辦公室（作業中）

　　400，000~800，000

　　工業區

　　600，000~1，000，000

　　正在吸煙的會議室

　　600，000~1，000，000

　　二、潔凈室作業辦理

　　潔凈室作業辦理，可依作業人員、原物料、設備及潔凈室內所用東西等加以探討，并依方案（planning）、施行（Doing）、追尋（Checking）、動作(Action)之PDCA循環進程履行。

　　1.作業人員之辦理

　　前面已提及在潔凈室內污染來源80%來自作業人員,因此若能使作業人員依潔凈室辦理，而一切人員也均能合作施行，則污染源的發生可說已減大半。現就進入潔凈室的作業人員之辦理和留心事項闡明如下：

　　（1）進入潔凈室之人員，必需要具有有到達高尚凈度規范，并要堅持最好情況之觀念。

　　（2）作業人員進入潔凈室數目以堅持最小限度準則（愈少愈好），并須依潔凈室進出規范流程進出潔凈室，如圖3所示。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。

　　（3）對作業人員有必要常常講解潔凈室辦理之數據，并加以教育與練習，內容如潔凈室辦理之一般常識、潔凈室之結構與功用、保護和清潔、安全對策、轉移器件之潔凈辦理與查看、潔凈衣之穿脫、潔凈室內之步行辦法等，并經考試合格者方能進入潔凈室作業。

　　（4）在潔凈室作業人員須常常堅持自己各方面的潔凈與清潔。

　　（5）在潔凈室內之作業人員或其它人員之移動或動作均為發塵源，其直接影響制程，一起亦會影響氣流之擾動，為防止與操控上述景象，基本上須注下列事項：

　　a.不行在作業區域氣流之上方放置物品或做其它作業。

　　b.不必要之動作盡量防止以防止亂流發塵。

　　c.與作業無關的私心談話盡量防止。

　　d.為操控發塵量，人員步行及作業要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發塵量。

　　e.作業要在潔凈之作業柜或作業桌進行。

　　f.東西等用具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放必定的場所。

　　（6）作業人員須常常堅持潔凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應保養，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。

　　（7）潔凈衣要常常堅持著衣之情況。

　　（8）下列所述者不能進入潔凈室：

　　a.非作業人員或事前未得許可者。

　　b.未照規矩穿戴潔凈衣者。

　　c.剛做劇烈運動流汗者。

　　d.吸煙或吃東西后，沒有通過半小時以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵發生量與時刻之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何潔凈室制止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘禁絕進入的原因地址。故針對在潔凈室作業人員之招募，若能挑選不吸煙者為目標，將可帶來甚大利益。

　　下表為人體不同動作之微塵發生數

　　≥0.3μm

　　≥0.5μm

　　一般作業服

　　無塵服

　　單位：每分鐘、每人

　　（9）有下列健康情況或體質者準則上不能進入潔凈室：www.beikeds.com

　　a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。

　　b.化學纖維或有機溶劑等化學藥品有過敏性體質者。

　　c.簡略出受汗者。

　　d.比一般人皮膚表皮簡略剝離、頭皮或體毛簡略墜落者。

　　e.化裝或涂口紅者。

　　f.有重大精神病、神通過敏或閉瑣驚駭者。

　　g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜作業者。

　　但關于有下列性情的人，則最適合進入潔凈室作業：

　　a.干事細心有耐性者。

　　b.勤于收拾整頓，常常自己留心身邊清潔的人。

　　c.常常留心自己之健康者。

　　10.以下之物品不能帶進潔凈室：

　　a)沒有通過清潔進程之器件、零件物品、測定器等各種物品。

　　b)紙箱及未經特別處理之記載或筆記用紙、影印數據等。

　　c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。

　　d)卷煙、化裝品、衛生紙、飲食物等。

　　e)作業員個人用品如打火機、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。

　　潔凈室潔凈度堅持之最大操控目標為作業人員，因此關于作業人員之數目、舉動情況、進出規矩之擬定與履行，進步潔凈室內作業人之潔凈度認識、反復教育，均為有必要，表3所示為因作業人員之動作而發生污染的添加倍率。

　　2.原物料、設備進出辦理

　　除了人員進出潔凈室須予于規范辦理外，物料及設備之進出也有必要通過潔凈程序，方不至于影響潔凈室之潔凈度。其進潔凈室之流程如表4所示。至于搬出則反方向而行，但不須經潔凈程序。

　　原物料及設備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10000級之房間，作業人員于其室內清潔設備或物料時有必要穿戴潔凈衣服，所運用之擦洗紙為無塵紙或不會掉落織毛之無塵布，清潔劑除了運用超純水之外，并參加3~5％濃度的IPA或丙酮化學品，以增強去污才能，因為IPA及丙酮具揮發性，故此房間之排氣作用須特別考慮。轉移設備時為免損壞地板支架及地板外表，有必要事前于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板，作為輔佐。

　　3.潔凈室內用品辦理

　　潔凈室內用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、轉移車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。

　　潔凈衣之資料以洗后或運用其它處理后仍不會發塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之安排不易通過污染物和不附著污染物之原料，別的通過磨擦不發生靜電或帶電性非常小，洗刷再生簡略、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮要素。頭罩原料為無塵紙或無紡布制成，帽子原料則與潔凈衣相同，二者在穿戴運用時，除了只露出眼睛和臉外表部格外，其它部分均需包覆，在頭部部分銜接上衣處也有必要全蓋住，不能留有空地，頭發亦不能露出來。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，簡略洗刷，底則選用塑料底，布質部分則選用與潔凈服相同原料即可，鞋子穿戴時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套資料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在運用進程中若有不舒適感或阻礙手指觸感者則中止運用，手套外表有粉質時須去除或停用，準則上不運用有粉之Viny1手套為佳。

　　潔凈衣鞋帽子等須由專人辦理，并定時做清洗，清洗須在潔凈室內進行。并以純水合作清潔溶劑，并經約0.2μm之過濾器為之。一般洗刷周期視潔凈度等級而定，在高尚凈區（CLASS1）為2~3天，其它區域則為五天至一星期，洗刷結束枯燥后應當即密封。潔凈衣之置放場所亦須為潔凈室，備用品或新品寄存柜內，正運用者則吊掛衣架上，以便利取用。

　　桌椅一般以不銹鋼原料，并需外表加工處理為之，若不得不運用鍍鋅品或木制品，其外表須施環氧樹脂（Epxoy）加工以防外表發塵。作業桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量選用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳能夠觸到地板者為準則。但若必定須運用高腳椅時，則要預備腳踏環。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。

　　芯片盒為放置芯片之用，原料以選取擇不易摩損、不發塵易清潔之原料如鐵弗（Teflon）等，至于轉移車則以結構簡略為準則，并忌運用折迭式，原料仍選用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承選用雙密封式滾珠軸承。推送轉移車時不得急速運推而以緩行為適。筆記本之紙質應選用無塵紙制成者，且不得運用影印數據，若非萬不得已須運用，則須將文件放在通明之塑料套內或加覆背，一起不行于室內撕破或將紙揉成一團，防止形成環境之污染。如表5所示為不同紙張原料發塵量之比較。一般黑板及粉筆當然不能在高尚凈室內運用，必要時可在更衣室等潔凈室較低等級的區域運用白板。潔凈室內不得放置清潔用具，垃圾桶宜運用塑料制品或不銹鋼，且置于修理區中的固定方位，桶須覆以蓋子，以利操控，并定時整理。

　　表5不同紙張發塵量比較（略）（試驗辦法：將兩者紙張相迭，而彼此磨擦時所發生之紙塵量小于0.5μM以上）

　　真空吸塵器，其功用是在吸取潔凈室內地板上、下及設備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚，以到達清潔的意圖，因為真空吸塵器在作業時會有排氣發生，若未經處理，將嚴重影響潔凈室之潔凈度和氣流，因此真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除掉塵土。唯如今之高級潔凈室均設有中心式吸塵體系，并于現場預留吸塵口，故一般之清潔進程均利用此中心體系，以削減運用真空吸塵器時的氣流攪擾,在運用中心式體系時，須留心排氣旦之操控防止使潔凈室內之壓力下降至規矩范圍以下。至于真空吸塵器因屬潔凈室內專用，故不行移至室外運用，若不用時應置于較低等級的潔凈室中，旦每次運用后應打掃吸管、收塵箱等吸氣體系。

　　三、潔凈室各體系保護保養辦理

　　潔凈室內體系除了通稱的空調體系之外，制程設備也包含在內，本節將對該二體系之作業保護及保養做一概略闡明。

　　潔凈室內之出產制作設備留心之關鍵有三：

　　1.出產設備之挑選、安置與保養：

　　a.要選用發塵性較少的出產設備及相關設備，尤其須留心活動部分之發塵。

　　b.應挑選塵土之影響較小的出產設備或接口設備。

　　c.出產用之水、氣體、藥品等往往是形成污染的原因，故應裝備過濾裝置。

　　d.規劃各設備之裝備空間時，事前宜考慮不易堆集微塵之結構，規劃各并以簡略清潔為準則。

　　e.真空泵等簡略發生污染物的這類設備，應設置在潔凈室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。

　　f.設置給水管線、氣體管線和電氣體系時，其結構須考慮到簡略清潔，不易堆集污染物。

　　g.出產及相關設備應定時打掃，以防止微塵之堆積。

　　h.應加強留心室內的溫濕度操控，防止因濕度之不妥形成結露生銹。

　　i.當設備修理時易發生微塵粒子，故修理時盡量于清潔室外進行，并加阻隔柵阻隔。

　　j.關于施工或修理之廠商，應奉告進出潔凈室之各項規矩，且負責工程師應隨侍在側監工。

　　k.應有潔凈室專用東西組，但不得帶出潔凈室外運用。

　　l.規劃空間時若能接近潔凈室樹立一間修理和設備保養手冊置放室，將是一抱負之規劃。

　　2.出產設備之防塵辦法：

　　a.磨損、切削均為發作微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。

　　b.易發生塵土之設備，若能的話應安置于風尾地址。

　　c.在操作時，盡量削減觸摸零件或產品。

　　d.不得有太大或不必要的操作動作，避免卷起附近之塵土。

　　e.各項廠務設施之供給如水、氣體和化學品于進入出產設備前應有過濾設備。

　　f.為不使氣體或液體停留，形成微污染，故管路裝備應有旁路閥之設置。

　　3.自動化與無塵化：

　　a.樹立自動化傳送體系，可削減人員方面所帶來的污染，唯費用適當貴重，須詳加評價。

　　b.樹立操控項目如進入潔凈室人員的資歷限制，潔凈室作業人員作業規矩，潔凈室辦理規矩等，這些規矩已在前面章節敘說，此處不再闡明。

　　在潔凈室之保護辦理方面，可分三部分加以闡明：

　　1.建筑物之保護辦理：

　　a.建筑物內定時查看清潔。

　　b.地板之打掃辦理及損壞更新。

　　c.隔間墻及天花板查看清潔和封補。

　　d.窗戶及門之保養等。

　　2.環境測定與辦理：

　　潔凈室內之作業環境情況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定時量測，以的確把握質量，若有數據異常，可當即做緊迫處理。

　　3.防塵空調設備之保護辦理：

　　a.溫、濕度及塵土濃度辦理，在前面以述及，唯其量測儀器應做定時校對查驗，若有設備移動或施工時須做部分丈量。

　　b.過濾網之辦理：定時查看及替換，表6為各種過濾網之查看及替換周期。

　　c.空氣調節器辦理：定時查看隔板接縫及內部污染情況，冷熱盤管是否有腐蝕現象。

　　d.送風機之辦理：定時查看送風機作業情況。如表7所示為送風機之各項查看內容及周期。

　　e.風管及出風口之辦理：查看風管是否有腐蝕、污染、塵土堆積或保溫掉落等。

　　f.測驗及量測儀器辦理：定時校對及保養。

　　g.室內壓力辦理：接連監視室內壓力記載，以堅持正壓為基準。

　　h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之辦理：定時查看保養及記載作業情況及水質改變剖析，以調整加藥量等。

　　i.潔凈室中止作業再開機關鍵辦理：發動后當即進行微塵粒子之測驗，須潔凈室恢復安穩正常時再開端作業。表8為空調設備應查看之項目。

　　表6各種過濾網替換周期

　　作業情況

1次/日以上是否有不正常轟動或其它異常現象及異音等 帶之松緊度1次/日以上 有無松懈或滑動聲軸承之潤滑 1次/半年以上　補充潤滑油以舊油脂排出停止　根底固定螺絲1次/半年以查看固定螺絲有無松動馬達之絕緣測1次/半年以上電壓值3000V時---3M電壓值200V時---0.2MΩ　出產時發生的塵粒需處理