潔凈室潔凈度之堅持和操控，除了硬設(shè)備之合作投資外，也需求杰出的軟件——辦理制度來調(diào)配，方能堅持杰出的潔凈度；潔凈室作業(yè)辦理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及潔凈室內(nèi)所用東西等加以討論；潔凈室內(nèi)體系除了通稱的空調(diào)體系之外，制程設(shè)備也包含在內(nèi)，本節(jié)將對該二體系之作業(yè)保護(hù)及保養(yǎng)做一概略闡明。

　　潔凈室污染源作業(yè)辦理保護(hù)保養(yǎng)一、污染源操控潔凈室潔凈度之堅持和操控，除了硬設(shè)備之合作投資外，也需求杰出的軟件——辦理制度來調(diào)配，方能堅持杰出的潔凈度。潔凈室內(nèi)之微污染來歷，經(jīng)測驗剖析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%，如圖1所示。試驗數(shù)據(jù)顯現(xiàn)，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時塵土有明顯添加，有人動作時，潔凈度立刻劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要要素。潔凈室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包含空調(diào)送風(fēng)、空隙進(jìn)入、建筑物、作業(yè)服、風(fēng)管資料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包含制程設(shè)備、作業(yè)人員、東西、加工制程、隔間資料、作業(yè)桌、包裝資料等，圖2為微塵粒子的傳送途徑。對硅芯片而言，微塵粒子之附著將形成集成電路線路的變形或短路，使芯片失掉運作功用，因此微污染源的操控已成為潔凈室辦理的重要環(huán)節(jié)。

為天然環(huán)境所測得的塵土濃度，可為設(shè)計參考，而在微污染操控，其基本準(zhǔn)則有四：1.外部塵土侵入之防止：潔凈室恰當(dāng)之正壓堅持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原資料搬入潔凈室前先做好清潔擦洗等防塵動作，空氣過濾器恰當(dāng)?shù)霓k理和設(shè)置。2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：隔間板、地板等潔凈室資料的恰當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵按捺、出產(chǎn)自動化及人員不集合、動作放松、潔凈衣的辦理、運用潔凈室專用器等。3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：墻壁體應(yīng)潤滑無死角、潔凈室需定時保養(yǎng)和打掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。4.發(fā)作塵土之掃除：換氣次數(shù)應(yīng)滿足，恰當(dāng)?shù)目臻g安置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須恰當(dāng)。人、物入室的辦理問題、實踐的作業(yè)條件和工程辦理相關(guān)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及打掃聯(lián)系之問題，這些問題將于下節(jié)祥述。表1天然界微塵粒子數(shù)丈量地址微塵粒子數(shù)（個/ft3）≥0.5μm大氣層圈ㄑ100田園區(qū)域（微風(fēng)情況）100，000~300，000住所區(qū)域100，000~200，000辦公室（作業(yè)中）200，000~400，000工業(yè)區(qū)400，000~1，000，000正在吸煙的會議室600，000~1，000，000

二、潔凈室作業(yè)辦理潔凈室作業(yè)辦理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及潔凈室內(nèi)所用東西等加以討論，并依計劃（planning）、施行（Doing）、追尋（Checking）、動作(Action)之PDCA循環(huán)進(jìn)程履行。1.作業(yè)人員之辦理前以提及在潔凈室內(nèi)污染來歷80%來自作業(yè)人員，因此若能使作業(yè)人員依潔凈室辦理，而一切人員也均能合作施行，則污染源的發(fā)生可說已減大半。現(xiàn)就進(jìn)入潔凈室的作業(yè)人員之辦理和留心事項闡明如下：（1）進(jìn)入潔凈室之人員，必需要具有有到達(dá)高尚凈度規(guī)范，并要堅持最好情況之觀念。（2）作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室數(shù)目以堅持最小限度準(zhǔn)則（愈少愈好），并須依潔凈室進(jìn)出規(guī)范流程進(jìn)出潔凈室，如圖3所示。出則相反方向進(jìn)行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。（3）對作業(yè)人員有必要常常解說潔凈室辦理之?dāng)?shù)據(jù)，并加以教育與訓(xùn)練，內(nèi)容如潔凈室辦理之一般知識、潔凈室之結(jié)構(gòu)與功用、保護(hù)和清潔、安全對策、轉(zhuǎn)移器件之潔凈辦理與查看、潔凈衣之穿脫、潔凈室內(nèi)之步行辦法等，并經(jīng)考試合格者方能進(jìn)入潔凈室作業(yè)。（4）在潔凈室作業(yè)人員須常常堅持自己各方面的潔凈與清潔。（5）在潔凈室內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動或動作均為發(fā)塵源，其直接影響制程，一起亦會影響氣流之?dāng)_動，為防止與操控上述情形，基本上須注下列事項：a.不行在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。b.不必要之動作盡量防止以防止亂流發(fā)塵。c.與作業(yè)無關(guān)的私心說話盡量防止。d.為操控發(fā)塵量，人員步行及作業(yè)要靜靜地進(jìn)行。表2所示為人體在不同動作時之發(fā)塵量。e.作業(yè)要在潔凈之作業(yè)柜或作業(yè)桌進(jìn)行。f.東西等用具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放必定的場所。（6）作業(yè)人員須常常堅持潔凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應(yīng)保養(yǎng)，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。（7）潔凈衣要常常堅持著衣之情況。（8）下列所述者不能進(jìn)入潔凈室：a.非作業(yè)人員或事前未得許可者。b.未照規(guī)矩穿戴潔凈衣者。c.剛做劇烈運動流汗者。d.吸煙或吃東西后，尚未經(jīng)過半小時以上者。

吸煙和未吸煙者微塵發(fā)生量與時刻之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何潔凈室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘禁絕進(jìn)入的原因地址。故針對在潔凈室作業(yè)人員之招募，若能挑選不吸煙者為目標(biāo)，將可帶來甚大利益。≥0.3μm≥0.5μm一般作業(yè)服無塵服一般作業(yè)服無塵服白衣形全覆形白衣形全覆形站立（靜姿）543，000151，00013，800339，000113，0005，580坐下（靜姿）44，800142，00014，800302，000112，0007，420腕上下4，450，000463，00049，0002，980，000298，00018，600上身前屈3，920，000770，00039，2002，240，000538，00024，200腕的自在運動3，470，000572，00052，1002，240，000298，00020，600頭的上下運動1，230，000187，00022，100631，000151，00011，000屈身4，160，0001，110，00062，5003，120，000605，00037，400踏步4，240，0001，210，00092，1002，800，000861，00044，600步行5，360，0001，290，000157，0002，920，0001，010，00056，000單位：每分鐘、每人人體不同動作之微塵發(fā)生數(shù)（9）有下列健康情況或體質(zhì)者準(zhǔn)則上不能進(jìn)入潔凈室：a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。b.化學(xué)纖維或有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品有過敏性體質(zhì)者。c.簡略出受汗者。d.比一般人皮膚表皮簡略剝離、頭皮或體毛簡略墜落者。e.化妝或涂口紅者。f.有嚴(yán)重精神病、神經(jīng)過敏或閉瑣恐懼者。g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜作業(yè)者。但關(guān)于有下列性情的人，則最適合進(jìn)入潔凈室作業(yè)：a.干事仔細(xì)有耐性者。b.勤于整理整理，常常自己留心身邊清潔的人。c.常常留心自己之健康者。10.以下之物品不能帶進(jìn)潔凈室：a)沒有經(jīng)過清潔進(jìn)程之器件、零件物品、測定器等各種物品。b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記載或筆記用紙、影印數(shù)據(jù)等。c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。d)卷煙、化妝品、衛(wèi)生紙、飲食物等。e)作業(yè)員個人用品如打火機(jī)、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。潔凈室潔凈度堅持之最大操控目標(biāo)為作業(yè)人員，因此關(guān)于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目、舉動情況、進(jìn)出規(guī)矩之?dāng)M定與履行，進(jìn)步潔凈室內(nèi)作業(yè)人之潔凈度認(rèn)識、重復(fù)教育，均為有必要，表3所示為因作業(yè)人員之動作而發(fā)生污染的添加倍率。2.原物料、設(shè)備進(jìn)出辦理除了人員進(jìn)出潔凈室須予于規(guī)范辦理外，愿物料及設(shè)備之進(jìn)出也有必要經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室之潔凈度。其進(jìn)潔凈室之流程如表4所示。至于搬出則反方向而行，但不須經(jīng)潔凈程序。原物料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級1000或10000級之房間，作業(yè)人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時有必要穿戴潔凈衣服，所運用之擦洗紙為無塵紙或不會掉落織毛之無塵布，清潔劑除了運用超純水之外，并參加3~5％濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污才能，因為IPA及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣作用須特別考慮。轉(zhuǎn)移設(shè)備時為免損壞地板支架及地板外表，有必要事前于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔佐。3.潔凈室內(nèi)用品辦理潔凈室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、轉(zhuǎn)移車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。潔凈衣之資料以洗后或運用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之安排不易經(jīng)過污染物和不附著污染物之原料，別的經(jīng)過磨擦不發(fā)生靜電或帶電性十分小，洗刷再生簡略、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮要素。頭罩原料為無塵紙或無紡布制成，帽子原料則與潔凈衣相同，二者在穿戴運用時，除了只顯露眼睛和臉外表部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分銜接上衣處也有必要全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能顯露來。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，簡略洗刷，底則選用塑料底，布質(zhì)部分則選用與潔凈服相同原料即可，鞋子穿戴時潔凈衣腳跟部分應(yīng)徹底塞入嚴(yán)密包著。手套資料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在運用進(jìn)程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則中止運用，手套外表有粉質(zhì)時須去除或停用，準(zhǔn)則上不運用有粉之Viny1手套為佳。潔凈衣鞋帽子等須由專人辦理，并定時做清洗，清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。并以純水合作清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗刷周期視潔凈度等級而定，在高尚凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗刷結(jié)束枯燥后應(yīng)當(dāng)即密封。

潔凈衣之置放場所亦須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正運用者則吊掛衣架上，以便利取用。桌椅一般以不銹鋼原料，并需外表加工處理為之，若不得不運用鍍鋅品或木制品，其外表須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防外表發(fā)塵。作業(yè)桌最好有打洞，邊際有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量選用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為準(zhǔn)則。但若必定須運用高腳椅時，則要預(yù)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。芯片盒為放置芯片之用，原料以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之原料如鐵弗（Teflon）等，至于轉(zhuǎn)移車則以結(jié)構(gòu)簡略為準(zhǔn)則，并忌運用折迭式，原料仍選用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承選用雙密封式滾珠軸承。推送轉(zhuǎn)移車時不得急速運推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)選用無塵紙制成者，且不得運用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須運用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，一起不行于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán)，防止形成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張原料發(fā)塵量之比較。一般黑板及粉筆當(dāng)然不能在高尚凈室內(nèi)運用，必要時可在更衣室等潔凈室較低等級的區(qū)域運用白板。潔凈室內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜運用塑料制品或不銹鋼，且置于修理區(qū)中的固定方位，桶須覆以蓋子，以利操控，并定時整理。表5不同紙張發(fā)塵量比較（略）（試驗辦法：將兩者紙張相迭，而彼此磨擦?xí)r所發(fā)生之紙塵量小于0.5μM以上）真空吸塵器，其功用是在吸取潔凈室內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以到達(dá)清潔的意圖，因為真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣發(fā)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響潔凈室之潔凈度和氣流，因此真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除掉塵土。唯如今之高級潔凈室均設(shè)有中心式吸塵體系，并于現(xiàn)場預(yù)留吸塵口，故一般之清潔進(jìn)程均運用此中心體系，以削減運用真空吸塵器時的氣流攪擾，在運用中心式體系時，須留心排氣旦之操控防止使?jié)崈羰覂?nèi)之壓力下降至規(guī)矩范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贊崈羰覂?nèi)專用，故不行移至室外運用，若不用時應(yīng)置于較低等級的潔凈室中，旦每次運用后應(yīng)打掃吸管、收塵箱等吸氣體系。

三、潔凈室各體系保護(hù)保養(yǎng)辦理潔凈室內(nèi)體系除了通稱的空調(diào)體系之外，制程設(shè)備也包含在內(nèi)，本節(jié)將對該二體系之作業(yè)保護(hù)及保養(yǎng)做一概略闡明。潔凈室內(nèi)之出產(chǎn)制作設(shè)備留心之關(guān)鍵有三：1.出產(chǎn)設(shè)備之挑選、安置與保養(yǎng)：a.要選用發(fā)塵性較少的出產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須留心活動部分之發(fā)塵。b.應(yīng)挑選塵土之影響較小的出產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。c.出產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是形成污染的原因，故應(yīng)裝備過濾設(shè)備。d.規(guī)劃各設(shè)備之裝備空間時，事前宜考慮不易堆集微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以簡略清潔為準(zhǔn)則。e.真空泵等簡略發(fā)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在潔凈室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣體系時，其結(jié)構(gòu)須考慮到簡略清潔，不易堆集污染物。g.出產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定時打掃，以防止微塵之堆積。h.應(yīng)加強(qiáng)留心室內(nèi)的溫濕度操控，防止因濕度之不妥形成結(jié)露生銹。i.當(dāng)設(shè)備修理時易發(fā)生微塵粒子，故修理時盡量于清潔室外進(jìn)行，并加阻隔柵阻隔。j.關(guān)于施工或修理之廠商，應(yīng)奉告進(jìn)出潔凈室之各項規(guī)矩，且擔(dān)任工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。k.應(yīng)有潔凈室專用東西組，但不得帶出潔凈室外運用。l.規(guī)劃空間時若能臨近潔凈室樹立一間修理和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一抱負(fù)之規(guī)劃。2.出產(chǎn)設(shè)備之防塵辦法：a.磨損、切削均為發(fā)作微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。b.易發(fā)生塵土之設(shè)備，若能的話應(yīng)安置于風(fēng)尾地址。c.在操作時，盡量削減接觸零件或產(chǎn)品。d.不得有太大或不必要的操作動作，避免卷起鄰近之灰塵。e.各項廠務(wù)設(shè)備之供給如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入出產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。f.為不使氣體或液體停留，形成微污染，故管路裝備應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。3.自動化與無塵化：a.樹立自動化傳送體系，可削減人員方面所帶來的污染，唯費用適當(dāng)貴重，須詳加評估。b.樹立操控項目如進(jìn)入潔凈室人員的資歷限制，潔凈室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)矩，潔凈室辦理規(guī)矩等，這些規(guī)矩已在前面章節(jié)敘說，此處不再闡明。在潔凈室之保護(hù)辦理方面，可分三部分加以闡明：1.建筑物之保護(hù)辦理：a.建筑物內(nèi)定時查看清潔。b.地板之打掃辦理及損壞更新。c.隔間墻及天花板查看清潔和封補(bǔ)。d.窗戶及門之保養(yǎng)等。2.環(huán)境測定與辦理：潔凈室內(nèi)之作業(yè)環(huán)境情況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定時量測，以的確把握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)反常，可當(dāng)即做緊迫處理。3.防塵空調(diào)設(shè)備之保護(hù)辦理：a.溫、濕度及塵土濃度辦理，在前面以述及，唯其量測儀器應(yīng)做定時校對查驗，若有設(shè)備移動或施工時須做部分丈量。b.過濾網(wǎng)之辦理：定時查看及替換，表6為各種過濾網(wǎng)之查看及替換周期。c.空氣調(diào)節(jié)器辦理：定時查看隔板接縫及內(nèi)部污染情況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。d.送風(fēng)機(jī)之辦理：定時查看送風(fēng)機(jī)作業(yè)情況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項查看內(nèi)容及周期。e.風(fēng)管及出風(fēng)口之辦理：查看風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵土堆積或保溫掉落等。f.測驗及量測儀器辦理：定時校對及保養(yǎng)。g.室內(nèi)壓力辦理：連續(xù)監(jiān)督室內(nèi)壓力記載，以堅持正壓為基準(zhǔn)。h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之辦理：定時查看保養(yǎng)及記載作業(yè)情況及水質(zhì)改變剖析，以調(diào)整加藥量等。i.潔凈室中止作業(yè)再開機(jī)關(guān)鍵辦理：發(fā)動后當(dāng)即進(jìn)行微塵粒子之測驗，須潔凈室康復(fù)安穩(wěn)正常時再開端作業(yè)。表8為空調(diào)設(shè)備應(yīng)查看之項目。表6各種過濾網(wǎng)替換周期品種功率最終壓降壓差測驗頻率出風(fēng)口塵土測驗過濾網(wǎng)替換周期初效過濾網(wǎng)AFI25%10mmAq在線隨時測驗--2次/年中效過濾網(wǎng)NBS65~95%25mmAq在線隨時測驗--2次/年高功能過濾網(wǎng)D.O.P.99.97%0.3mμ50mmAq在線隨時測驗1次/月1年/次超高功能過濾網(wǎng)D.O.P.99.99995%0.1mμ50mmAq在線隨時測驗1次/月5~10年補(bǔ)白：出風(fēng)口塵土測驗系在送風(fēng)管或出風(fēng)口鄰近進(jìn)行。