1.無塵室：這是上海漢宇為了對空間內(nèi)空氣中的微粒控制所制造的封閉建筑。一般來說，無塵室也會對溫濕度、氣流運動形式、與震動噪音等環(huán)境因素做操控。

　　2.微粒操控：無塵室微粒操控的第一步，是把室內(nèi)微粒進行分析，然后針對分析結(jié)果擬訂預先設(shè)計好的的微粒操控方法與無塵室管理形式，才干有用率的操控微粒污染。在做微粒影響剖析時，期間注意數(shù)據(jù)的量化。

　　3.外來污染源：從無塵室外進入系統(tǒng)的污染源，外來污染源主要是由空調(diào)通風系統(tǒng)所導入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。

　　4.內(nèi)部污染源：無塵室內(nèi)部發(fā)生污染的來源，一般是制程機器與操作職工，嚴峻的內(nèi)部污染源一般是操作職工。

　　5.阻隔：阻隔是污染操控的一種觀念，也就是讓污染源阻隔在無塵區(qū)域之外。這種觀念多應用在高潔凈度的無塵環(huán)境，例如Class100，Class10，Class1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無塵室，或是運用迷你潔凈室將機臺整個包住。

　　6.稀釋：稀釋是污染操控的另一種觀念，多應用在潔凈度不高的無塵室。例如在Class10000的無塵室，因為換氣量不大，制程與人員發(fā)生的粒子就會在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時刻才會排出。因而新的潔凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度操控在某一等級之下就能夠了，部要求把人員與制程離隔。運用稀釋法作為粒操控時，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響剖析的正確性，能把握微粒的發(fā)生速率，才干有用的稀釋微粒。

　　7.氣流形式：指的是流場型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。因為微粒的移除徹底把握在氣流的形式，因而愈潔凈的無塵室或是無塵區(qū)域，對氣流形式的掌控就愈注重。基本上要先把握氣流形式，才干把握潔凈度。

　　8.單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，曾經(jīng)稱為層流型無塵室，界說并無多大改動。高潔凈度無塵室需求單一流向型氣流。

　　9.非單一流向型氣流：氣流方向不受操控，就是所謂的亂流型無塵室，潔凈度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)約本錢。

　　10.As-builtcleanroom（剛完工的無塵室）：現(xiàn)已完結(jié)且能夠操作，一切相關(guān)支撐設(shè)備皆已完結(jié)的潔凈室，但并沒有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。

　　11.At-restcleanroom（準備中的無塵室）：現(xiàn)已完結(jié)且能夠操作，一切相關(guān)支撐設(shè)備皆已動作的無塵室，設(shè)備已加載并能夠操作或已在工作，如所指定，但沒有操作設(shè)備的人員。

12.Operationalcleanroom（操作中的無塵室設(shè)備）：一個已在正常工作的無塵室，一切相關(guān)支撐設(shè)備皆已動作，設(shè)備及人員皆已加載，工作情況能夠呈現(xiàn)和到達其正常的功能。