1.亂流式(TurbulentFlow)：

　　空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由無塵車間兩邊隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級1，000-100，000級。

　　長處：結構簡略、體系締形成本低，潔凈室之擴大比較簡略，在某些特殊用處場所，可并用無塵作業臺，進步無塵車間等級。

　　缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若體系中止作業再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時適當長一段時間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩邊隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環境運用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風體系回風，塵土隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴峻。

　　長處：結構簡略，作業后短時間內即可變成安穩。

　　缺陷：締造費用比亂流式高，室內空間不易擴大。

　　(2)無塵車間筆直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業人員所發生的塵土可快速排出室外而不會影響其它作業區域。

　　長處：辦理簡略，作業開端短時間內即可達安穩狀況，不易為作業狀況或作業人員所影響。

　　缺陷：結構費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架適當占空間，修理替換過濾器較費事。

　　3.復合式(MixedType)：

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)無塵車間潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或作業區域100%掩蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節省裝置作業費用。此型式需將作業人員之作業區與產品和機器修理予以阻隔，以避免機器修理時影響了作業及品質，ULSI制程大都選用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴大簡略；B.修理設備時可在修理區容易執行。

　　(2)無塵車間潔凈管道(CleanTube)：將產品流程通過的自動出產線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境彼此阻隔，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化出產線為最適合運用。藥品、食物業界及半導體業界均適用。

　　(3)無塵車間并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；即屬此類。

　　潔凈作業臺：等級Class1~100級。

　　潔凈作業棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之通明塑料布圍成一小空間，選用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高檔之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，掩蓋面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。