無塵室工程標準就是凈化設備標準，潔凈室使用的高效空氣過濾器過濾氣體，對于通過過濾器過濾后的空氣都是非常干凈的。潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發作的塵土一旦擴散，即無法堅持凈化空間，所以需要使用氣流將發揮的塵土排除室外。

潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或凈化室。

無塵室是指將在規定的范圍內對空氣中含有的物質進行控制，對于溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度、噪音、照明燈都控制在一定的范圍內，亦便是不管外在之空氣條件怎么改變，其室內均能俱有堅持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等功能之特性。世界各國都有各自的規定，但大都采用的是美國的相關標準。或者和各國制定的標準進行對比使用。

無塵室控管之項目是可以除掉空氣中飄游的微塵粒子。防止灰塵的揮發和對溫度和濕度的操控，壓力調整，有害氣體的清除，隔間的氣密性等在施工時都要考慮到。

1.亂流式(TurbulentFlow)：

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩邊隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

長處：結構簡略、體系締造本錢，潔凈室之擴大比較簡略，在某些特殊用處場所，可并用無塵作業臺，進步潔凈室等級。

缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。別的若體系中止作業再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時恰當長一段時刻。

2.層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩邊隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境運用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風體系回風，塵土隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴峻。

長處：結構簡略，作業后短時刻內即可變成安穩。

缺陷：締造費用比亂流式高，室內空間不易擴大。

(2)筆直層流式：房間天花板徹底以ULPA過濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業人員所發作的塵土可快速排出室外而不會影響其它作業區域。

長處：辦理簡略，作業開端短時刻內即可達安穩狀況，不易為作業狀況或作業人員所影響。

缺陷：結構費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架恰當占空間，修理更換過濾器較費事。

3.復合式(MixedType)：

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。

(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或作業區域100%掩蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節約裝置作業費用。

此型式需將作業人員之作業區與產品和機器修理予以阻隔，以防止機器修理時影響了作業及質量，ULSI制程大都選用此種型式。

潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴大簡略；B.修理設備時可在修理區輕易履行。

(2)潔凈管道(CleanTube)：將產品流程通過的自動出產線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互阻隔，少數之送風即可得到杰出之潔凈度，可節約能源，不需人工的自動化出產線為較適合運用。藥品、食物業界及半導體業界均適用。

(3)并裝部分潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上，以為出產之用；潔凈作業臺、潔凈作業棚、潔凈風柜即屬此類。

潔凈作業臺：等級Class1~100級。

無塵作業棚：為在亂流式之凈化室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，選用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高檔之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，掩蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

    無塵室工程回風標準具體程度會根據不同的工程和不同的產品會做出不同的選擇，所以在施工時要多加注意，選擇適合自己的方式，科學的施工，爭取做出好的成績。