現(xiàn)場(chǎng)測(cè)驗(yàn)成果及討論整理如下：

1.測(cè)驗(yàn)成果127點(diǎn)VESDA時(shí)刻由40秒到260秒不等，回風(fēng)層大多數(shù)測(cè)驗(yàn)點(diǎn)能夠120秒規(guī)范要求下偵測(cè)到現(xiàn)場(chǎng)放煙，超越120秒之測(cè)驗(yàn)方位如圖2及圖3上灰階方塊所示，圖上向量箭頭代表放煙後偵測(cè)器作動(dòng)之煙流方向。

2.放煙測(cè)驗(yàn)失利地址有在潔凈室區(qū)域制品及半制品庫(kù)房(Stocker)鄰近及排氣系統(tǒng)管末盲板(End-cap)鄰近。由現(xiàn)場(chǎng)放煙時(shí)能夠清楚發(fā)現(xiàn)煙被排氣管末盲板及庫(kù)房吸入，工程規(guī)劃時(shí)應(yīng)先鑒認(rèn)相似上述吸氣方位。必須要提示，半導(dǎo)體廠(chǎng)與4/5GTFT-LCD廠(chǎng)在Stocker規(guī)劃不同∶半導(dǎo)體廠(chǎng)Stocker只要潔凈室高，因而內(nèi)部正壓是把煙吹離Stocker；4/5GTFT-LCD廠(chǎng)由於玻璃面板大，Stocker一般規(guī)劃為筆直連通一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室工程層，內(nèi)部正壓在一樓回風(fēng)層仍是將把煙吹離Stocker，可是二樓潔凈室層卻是把煙吸入Stocker并經(jīng)過(guò)濾鏟除，因而在Stocker鄰近測(cè)驗(yàn)不合格(超越120秒)是必定的事。

3.一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室層內(nèi)部仍有一些方位測(cè)驗(yàn)不合格(超越120秒)，可是根據(jù)實(shí)測(cè)都在260秒內(nèi)作動(dòng)，因而開(kāi)始研判VESDA作動(dòng)應(yīng)與氣流速度有關(guān)。記載一切測(cè)驗(yàn)方位之間隔、作動(dòng)所需時(shí)刻、潔凈室均勻下降筆直層流速度，提出經(jīng)歷公式如下，未來(lái)希望有更多的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)驗(yàn)以驗(yàn)證此經(jīng)歷式變成通用公式。

戒備區(qū)筆直冷盤(pán)(DryCoiler)之長(zhǎng)度[公尺]=每小時(shí)換氣次數(shù)/3600×潔凈室高度[公尺]×電扇過(guò)濾模組覆蓋率[%]×120[秒]=均勻潔凈室下降氣流速度[公尺/秒]×120[秒]

於本研討中，潔凈工程VESDA檢驗(yàn)設(shè)定120秒戒備區(qū)長(zhǎng)度，因潔凈室內(nèi)各區(qū)每小時(shí)換氣次數(shù)不同(潔凈度不同)，大約是24至35公尺。上述方程式對(duì)300mm晶圓廠(chǎng)及第5代TFT-LCD廠(chǎng)十分重要，由于在這些新廠(chǎng)潔凈室高度大輻添加，此外，為了節(jié)約能源筆直下降氣流速度下降，因而VESDA布點(diǎn)規(guī)劃就徹底不同於一般8寸晶圓廠(chǎng)或第4代TFT-LCD廠(chǎng)。

4.不可否認(rèn)仍有一些方位放煙後行為獨(dú)特，無(wú)法合理解說(shuō)。可是在其鄰近再添加測(cè)驗(yàn)點(diǎn)其成果滿(mǎn)意檢驗(yàn)規(guī)范，關(guān)於此點(diǎn)仍需進(jìn)一步研討。試驗(yàn)中也有發(fā)現(xiàn)某些放煙方位會(huì)有二組VESDA作動(dòng)，為求監(jiān)測(cè)規(guī)模樹(shù)立正確性，都以最先作動(dòng)者為基本資料。

5.VESDA原廠(chǎng)規(guī)劃也經(jīng)由此研討比對(duì)及批改，不同VESDA戒備區(qū)域標(biāo)明與其VESDA相同編號(hào)。在此區(qū)域內(nèi)，假如有煙發(fā)生，根據(jù)試驗(yàn)VESDA應(yīng)能很快作動(dòng)，緊迫應(yīng)變?nèi)藛T(ERT)能夠先搜索上述由試驗(yàn)找出的各監(jiān)測(cè)器有用監(jiān)測(cè)規(guī)模，而不必搜索悉數(shù)空間。

6.為使偵煙時(shí)刻縮短許多廠(chǎng)商幾乎是冷盤(pán)前方及整個(gè)夾心層下方都有布點(diǎn)，一般需求100套以上VESDA，成本約2500~3000萬(wàn)臺(tái)幣。二次布點(diǎn)一般要布在夾心層下方，藉由現(xiàn)場(chǎng)全標(biāo)準(zhǔn)測(cè)驗(yàn)，能夠清楚知道只要潔凈室中心區(qū)域(標(biāo)明2nddesign)是需求二次布點(diǎn)規(guī)劃，而不是整個(gè)夾心層(WaffleSlab)下方都需求布點(diǎn)，如此一來(lái)可節(jié)約至少1000萬(wàn)臺(tái)幣。其規(guī)劃密度根據(jù)原廠(chǎng)主張仍訂為每套300平方公尺。

7.現(xiàn)場(chǎng)測(cè)驗(yàn)，編號(hào)52-53及56-58之VESDA戒備區(qū)特別小，潔凈工程VESDA受環(huán)境影響功能不佳之成果或程度，目前尚不清楚，下降氣流速度應(yīng)該是重要因素之一，由本個(gè)案研討可暫時(shí)推論∶放煙方位下降氣流速度小於0.05m/s時(shí)不合格可能性極高。

8.利用過(guò)載電流經(jīng)過(guò)直徑小的電線(xiàn)，最好運(yùn)用BS6266規(guī)則之PE線(xiàn)。假如運(yùn)用PVC披覆線(xiàn)材發(fā)生的戴奧辛對(duì)人體有害，且是否會(huì)發(fā)生細(xì)小煙粒殘留及其對(duì)潔凈室所可能形成的影響，目前無(wú)相關(guān)研討報(bào)告。